новости компании о Навигация по Директиве ЕС по взрывчатым веществам: Снижение рисков контроля загрязнения камеры с помощью обрабатываемой керамики

С внедрением пересмотренной Директивы по промышленным выбросам (IED) европейские экологические правила для производства полупроводников, точной обработки поверхностей,и промышленное оборудование высокого вакуума перешли от обработки конца трубы к предотвращению загрязнения у источника и проверкам наилучших доступных методов (БАТ).В ИЭД установлены строгие пороги соблюдения законодательства в отношениивыбросы летучих органических соединений (ЛОС), выбросы токсичных газов в виде следов и обращение с отходами процессовВ условиях сверхвысокого вакуума (UHV), высокотемпературного плазменного гравирования и химического осаждения паров (CVD) традиционные полимеры и сцепления с клеем разлагаются, высвобождая ЛОС.в то время как традиционная синтерированная керамика рискует образованием частиц.Стекло-керамика Macor®, изготовленный как 100% чистый неорганический субстрат с нулевой пористостью, с возможностью обработки без синтера,предоставляет глобальным OEM стратегическое решение для оптимизации контроля за загрязнением камер и соблюдения аудитов IED.

1Препятствия промышленности: риски загрязнения источников при проведении аудитов ПЭУ

В соответствии с строгими аудитами НДС и строгими рамками отчетности за выбросы, установленными IED, материалы внутренней камеры выявляют критические уязвимости в соответствии с требованиями:

• Тепловое выброс газов из полимеров и риски выбросов ЛОС: Высокопроизводительные полимеры (например, PTFE, PEEK) и органические клеи подвергаются микроразложению в состоянии теплового вакуума, выделяя следы ЛОС и фторированных газов.Это ухудшает урожайность полупроводников и нарушает ограничения IED на выбросы газа промышленного источника.

• Риски образования твердых частиц и промышленных отходов от устаревшей керамики: Обычная сцинтерованная керамика, такая как алюминий, часто проявляет микропорозность поверхности или внутреннее напряжение, в результате чего частицы отступают при бомбардировке плазмой.Это увеличивает частоту очистки камеры и производство промышленных твердых отходов.

2Технологический прорыв: сокращение источников ВИЭ с помощью неорганического макора®

Macor® имеет уникальную неорганическую микроструктуру, состоящую из 55% фторфлогопитовых пластинки слюны, встроенных в 45% боросиликатный стеклянный матриц.Он напрямую соответствует принципам предотвращения загрязнения ВИЭ:

• 100% чистая неорганическая матрица гарантирует нулевые выбросы ОСО: как абсолютно плотный неорганический изолятор с0% химическая пористость, Macor® предлагает диэлектрическую прочность45 кВ/ммвдоль непрерывного теплового потолка до800°CЭто даетнулевое выбросы газов и нулевые ЛОСпри высокотермальном вакууме, обеспечивая естественное соблюдение предельных норм выбросов газов из ПЭУ.

• 0% Сокращение после обработки и прямая внутренняя нить уменьшают количество твердых отходов: Macor® можно обрабатывать непосредственно с помощью стандартного оборудования CNC с точностью до микрона0% сокращение после обработки (без синтера)Его плотная структура предотвращает выброс частиц и позволяетпрямые внутренние нитки (Tapping)для замены клеев, сокращения отходов процесса во время технического обслуживания.

3Данные-основанные доказательства: стандартизированные физические показатели для аудита ИЭУ

Для директоров по закупкам и сотрудников по соблюдению требований окружающей среды, составляющих досье по соблюдению требований НДСИ, проверенные физические свойства Macor®® предоставляют явное обоснование: