Поскольку глобальная полупроводниковая промышленность уделяет все больше внимания устойчивости цепочек поставок, европейские производители полупроводниковых пластин и OEM-производители полупроводникового оборудования сталкиваются с острой необходимостью локализации поставщиков компонентов. Среди критически важных расходных материалов прецизионные керамические изоляторы часто являются узким местом при масштабировании мощностей из-за устаревшей зависимости от аутсорсинга и увеличенных сроков производства.Обрабатываемая стеклокерамика Macor®смягчает эти проблемы благодаря своей высокоточной обрабатываемости без спекания, открывая новый путь для локализованных обновлений в европейской сети поставок полупроводников.
Внутренние структурные и изолирующие детали для полупроводниковых сред (такие как камеры PVD и плазменного травления) исторически основывались на современной объемной керамике.
Запретительная логистика и сроки выполнения заказов: Рабочий процесс производства индивидуальных компонентов из оксида алюминия или нитрида алюминия, включающий формовку, высокотемпературный обжиг и специализированное алмазное шлифование после спекания, является высокоцентрализованным. Европейские заводы, которым требуются индивидуальные или аварийные запасные части, часто сталкиваются с многонедельными сроками поставки межконтинентальных поставок.
Раздутый инвентарь и ограниченная маневренность: Чтобы противостоять длительным задержкам, заводы должны иметь значительные резервные запасы. Если обновление рецептуры процесса требует незначительного изменения размеров, существующие запасы керамики рискуют немедленно устареть.
Фундаментальная ценность Macor® заключается в переходе модели закупок запасных частей от «длинного цикла внешних закупок» к «локальному производству по требованию».
Прецизионное производство в цехах: Macor® позволяет европейским цехам прецизионного машиностроения или собственным производственным цехам изготавливать компоненты напрямую с использованием стандартных фрезерных станков с ЧПУ и твердосплавных инструментов. Это устраняет необходимость в алмазном инструменте, сохраняя при этом допуски сборки, соответствующие металлу.±0,013 мм (±0,0005 дюйма).
Устранение усадки при обжиге: То, что обрабатывается, является последней деталью. Поскольку вторичная термообработка не требуется, материал проявляет0% усадка после механической обработки, сокращая время от данных САПР до установки в чистом помещении до 24–48 часов.
В ходе локализации цепочки поставок характеристики материала Macor® обеспечивают соответствие производительности суровым базовым условиям обработки пластин:
Нулевая пористость (0%): Предотвращает захват газа, обеспечиваянезначительное выделение газав реакционных камерах высокого и сверхвысокого вакуума (СВВ).
Диэлектрическая прочность (45 кВ/мм): Обеспечивает надежную электрическую изоляцию высоковольтных электростатических патронов (ESC) и модулей источников ионов.
Термический порог (800°C непрерывно): Комфортно выдерживает повышенные температурные условия во время осаждения из паровой фазы и быстрой термической обработки (RTP).
Химическая чистота: Неорганический неметаллический состав исключает риск загрязнения ионами металлов, обеспечивая соблюдение стандартов чистых помещений.
Чтобы получить дополнительные материальные дивиденды и снизить базовые показатели поставок, группам по закупкам и инженерам следует принять следующую схему:
Переход на сырьевые центры: Поддерживайте локальные запасы стандартных стержней и листов Macor® вместо складирования дорогостоящих готовых керамических изделий. В случае внепланового выхода из строя инструмента используйте местные обрабатывающие мощности для быстрого изготовления по требованию.
Консолидация сложных высокоточных функций: Для изолирующих сопел, газораспределительных пластин или экранов в оборудовании для ионной имплантации воспользуйтесь способностью Macor® поддерживать тонкую внутреннюю резьбу и пазы с большим соотношением сторон, чтобы преобразовать многокомпонентные сборки в консолидированные монолитные компоненты.
Ускорение процесса проверки рецептуры: При тестировании новых приспособлений для работы с пластинами используйте Macor® для быстрого выполнения итераций проекта. Это сокращает циклы проверки оборудования с месяцев до дней, помогая европейским производителям оборудования сохранять преимущество в скорости исследований и разработок.
Контактное лицо: Daniel
Телефон: 18003718225
Факс: 86-0371-6572-0196